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MPS系列可以通过监控过程条件、检测污染物和检查泄漏来帮助您优化过程。提供 100 amu 和 200 amu 两种版本，能够灵活地执行各种功能，包括一般泄漏检测、真空诊断和碳氢化合物分析。

• 双灯丝
• 现场可更换电子倍增器
• 可现场更换的阳极、阴极和排斥极灯丝组件
• 可互换的传感器和电子设备
• TCP/IP 以太网连接
• 较短的传感器可max限度地减少安装空间
• max模拟扫描和选定峰值的每点数据速率为 3 ms
• MDPP <1.5E-14 Torr
• 传感器在洁净室环境中组装、测试和双重包装

• 传感器长度：14.3 厘米
• 质量范围：100 amu
• 探测器类型：FC
• 灵敏度 (FC)：3E-4 amps/Torr
• 灵敏度 (EM):NA
• min可检测分压 (3)：2.6E-12 Torr
• max传感器工作温度 (FC):200°C
• max传感器工作温度 (EM):不适用
• 灯丝类型选项：双 Y2O3/Ir 灯丝
• 分辨率 (1)：<1 amu 宽
• 温度系数 (2)：<1%/°C
• 每点max数据速率：3 ms
• 零爆炸（@质量 2）：<100 ppm
• max工作压力：5E-4 Torr
• max烘烤温度：300 °C
• 电源输入：20-30 VDC