产品介绍
低压微波等离子体源
可扩展和紧凑的设计
大面积应用
高等离子体密度
高效率
低伤害
轻松适应定制系统
双等离子体的组合可以用于获得二维等离子体阵列。单个源以及2个，4个和8个平行排列的等离子体可用于等离子体辅助表面处理，如表面活化，蚀刻和沉积。双等离子体是不使用磁场的直接微波等离子体源。在简化的描述中，它类似于由微波激发的反向发光管，双等离子体通常在约1000Pa至10Pa的低压下操作。由两个磁控管产生的具有2.45GHz频率的微波在两端被馈送到等离子体线中。在外部低压状态下放电点火，随着微波功率的增加，等离子体从沿着管的两端增长，并且形成轴向均匀的等离子体。
规格参数
频率：915MHz / 2450MHz / 5800MHz
HF-输入功率：典型2 kW/ m @ 1 mbar
波导：同轴8/26
过程压力：典型值0.1 mbar - 1 mbar
等离子体密度：在2450MHz时高达1012/ cm3
典型的过程气体：ArO 2，N 2 H 2，NH 3，SiH 4，HMDSO
电子温度：~2eV
同质性：优于5％
材料：
腔室：铝
气体喷淋：铝
等离子体源：石英，AL2O3
冷却：水/空气合并
连接器：
同轴8/26（微波）
接头套管（水，空气，气体）
尺寸：客户特定
MW电源元件
MUEGGE短路活塞MW2009D-260ED
津公网安备12010102000946号
