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HEIMANN SENSOR真空传感器HVS v ac04

HEIMANN真空传感器HVS系列包含采用硅微加工技术的新型创新传感器芯片。
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产品介绍

HEIMANN真空传感器HVS系列包含采用硅微加工技术的新型创新传感器芯片。硅批处理技术可实现小型化和低成本大批量生产。特殊要求可以从1E-5mbar到1E-2mbar的标准测量范围扩展到1E-1mbar。Heimann真空传感器HVS是微型皮拉尼(Pirani)型传感器,基于薄微机械膜上的加热电阻器结构,传感器采用小巧耐用的TO型金属外壳。

规格参数

参数

HVS Vac03g

HVS Vac03k

HVS Vac04

单位

外壳

TO8

TO39

TO39(单个)

TO8(双)

 

芯片尺寸

5.2x5.2

4.0x4.0

1.2x1.2

mm2

传感器电阻RP(典型值)

8.5

8.5

1

kOhm

片上参考电阻RK(典型值)

8.5

8.5

1

kOhm

电源电压U0 (max.)

 

3.5

 

3.2

 

4(1..1000 mbar)

2(p <1 mbar)

volt

工作温度

-20..120

°C

储存温度

-40..120

°C

 


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