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ATOVAC真空计(增强对流计)EG301

通常安装在真空室内,它是一个读取真空室内实际压力的仪表,需要+24 VDC(可能为15 VDC)电源。EG301增强型对流压力计具有3~10 VDC信号输出,用于半导体工艺和真空设备。
  • 品牌:ATOVAC
  • 型号:EG301
  • 阅读次数:412

产品介绍

通常安装在真空室内,它是一个读取真空室内实际压力的仪表,需要+24 VDC(可能为15 VDC)电源。EG301增强型对流压力计具有3~10 VDC信号输出,用于半导体工艺和真空设备。

性能特点

  • 可以进行大范围的压力测量(0 X 10-4至760Torr)。
  • 高精度和增加的占地面积效率。
  • 提供模拟输出,以便直接连接到PLC和其他设备进行显示。
  • 由于采用了7段LED,因此可以远距离读取。
  • PC可以使用RS-485进行控制。
  • 提供两个设置点用于外部设备和过程。
  • 它可以以低成本维修(更换传感器导线)。
  • 可单独使用,无需控制器。

技术参数

输入功率:+24伏直流电(可能15伏直流电)

输出功率:+3 VDC至10 VDC

工作温度:0~50℃

压力范围:2.0 X 10-4~760Torr

显示窗口:7段LED

显示单元:托尔(Torr)

安装位置:水平

细丝:铂99.999%

法兰:NW16 ISO-KF、NW25 ISO-KF,1/4 VCR内螺纹,CF法兰

界面:模拟输出,RS-485,2个设定点

规格参数


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