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FLEXI-FLOW紧凑型FF-M10和FF-M11紧凑型质量流量/压力计适用于在真空和17 bar（a）之间的工作压力下测量0…500 ml_n/min和0…20 l_n/min之间的流量范围。该仪器结合了基于毛细管MEMS技术的快速稳定的热质量流量传感器和准确可靠的旁路结构。由于独特的TCS技术（通过芯片传感器），建立了与温度和管路压力变化无关的准确质量流量测量。结合集成的温度和上下游压力传感器，22种气体的嵌入式数据库可实现准确的车载转换。多参数仪表为用户提供有用的过程信息：

-型号FF-M10：流量+温度

-型号FF-M11：流量+温度+上下游压力

• 紧凑型气体质量流量和压力表
• 集成气体转换模块
• 22种气体嵌入
• 多参数输出：质量流量、温度和压力
• USB-C和蓝牙通信
• Namur NE107状态指示

产地：荷兰

流量范围（可用的中间范围）：min.0…500 ml_n/min

Max.0…20 l_n/min（基于N2）

压力范围：FF-M10：不可用/FF-M11：0…17 bar（a）

精度（包括线性度）（基于实际校准）：高达±0,5%Rd plus±0,1%FS（N2/空气/O2）；

对于其他气体，增加转换不确定性；

重复性

流量传感器：<±0,2%Rd；

压力传感器：<±0,2%FS

减速比：高达1:1000

工作压力：max.16 bar g

22种独特气体以及这些气体的任何混合物的多气体/多量程嵌入式气体数据

响应时间（传感器）：<30 ms（T63）

3年内长期稳定性：<0,5%FS；每年<0,2%FS

安装：任何位置，姿态灵敏度可忽略不计

温度传感器灵敏度：zero 00015%FS/ºC；span 0,03%Rd/ºC；

压力传感器灵敏度：zero 0,16 mbar/ºC；span 0,05%Rd/ºC

温度精度：±0,2ºC（仪器本体温度）

压力传感器精度：±0,5%FS

压力敏感度（标准）：<0,15%Rd/bar，典型N2；

压力校正：<0.02%Rd，典型N2

泄漏完整性，外侧测试：<2 x 10^-9 mbar l/s He

机械部分

仪表本体：铝或不锈钢（可选）

材料（接液部件）：铝、不锈钢、氮化硅、环氧树脂、氧化铝、玻璃

表面质量：<1.6μRa（不锈钢阀体<0.8μRa）

压力等级（PN）：16 bar（g）/250 psig

工艺连接可选：压缩式、推入式或端面密封联轴器

密封件默认值：FKM 51415；

其他材料：请联系工厂

重量：200 g，铝阀体，300 g，不锈钢316阀体

防护等级：IP40

电气特性

电源：24 Vdc±10%

功耗：max.0,35 W

数字通信：Modbus RTU或FLOW-BUS（可选）

支持USB-C接口，便于设置；

用于监控的可选蓝牙连接

电气连接：9针D-sub（公头）