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MSG聚焦与跟踪系统LAF5-CH
- 品牌：MSG
- 型号：LAF5-CH
- 下载： MSG聚焦与跟踪系统LAF5-CH.pdf
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产品介绍
结合了工业显微镜和AOI系统的线激光和基于图像的自动聚焦和跟踪。MSG图像自动聚焦作为一个跟踪聚焦，而不像典型的对比度图像聚焦。通过根据表面自动选择聚焦方法，获得更加稳健的聚焦结果。
控制接口步进/伺服电机。适用于放大2倍至100倍的校正透镜，VIS、NIR、NUV、DUV。UI界面和软件库。
性能特点
我们的技术能够自动聚焦于：
- 具有高对比度变化的图案表面
- 具有高倍率透镜的更小结构
- 折射率变化的材料，如夹层/分层基材
3种不同的操作模式。
- 具有高速和高工作范围的激光自动聚焦模式
- 图像自动对焦模式可提高精度
混合自动聚焦模式，可智能选择激光或图像聚焦，以优化速度和精度，几乎消除激光坏点问题，同时仍能准确跟踪
该系统具有完整的Z轴闭环系统，带有传感器和电机控制。它带有一个软件界面，便于设置、使用和诊断所有必要的传感器和电机参数。易于集成到现有软件架构中。
技术参数
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参考APO计划无限显微镜物镜（示例） |
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放大倍数 |
5x |
10x |
20x |
50x |
100x |
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DOF |
14µm |
3.5µm |
1.6µm |
0.9µm |
0.6µm |
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采样率激光器 |
max.5kHz |
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采样率视频 |
250帧/秒，MAX，连续 |
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工作范围激光 |
±12000µm |
±4000µm |
±1500µm |
±500µm |
±150µm |
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工作范围视频 |
±5000µm |
±1000µm |
±400µm |
±100µm |
±20µm |
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精度* |
激光模式：0.5镜头自由度，视频0.25镜头自由度 |
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激光 |
二极管激光器660nm，IIIR类<2mW，前置透镜 |
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工作温度 |
+5°C至+50°C |
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光束形状 |
45°倾斜激光线 |
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传感器+电缆重量 |
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400g |
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接口重量 |
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400g |
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推荐BS |
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50/50 |
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激光AF周期时间 |
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0.1s |
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自动跟踪 |
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图像AF周期时间 |
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0.4s |
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自动跟踪 |
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混合AF循环时间 |
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0.2s |
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自动跟踪 |
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电源 |
In |
仅+12V DC传感器，24-48V，带控制器LAF-C |
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可选距离输出 |
模拟 |
0-10V和-10+10V，通过RS232 |
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信号质量输出 |
模拟 |
0-10V，通过RS232 |
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通信 |
数字 |
RS232 |
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激光器开/关 |
In |
TTL |
&通过RS232 |
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照相机同步 |
In |
TTL |
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*所有数据均指激光用普通玻璃的测量值和视频用标准图案 |
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津公网安备12010102000946号
