kleindiek探针台MM3A-EM

MM3A-EM探针站包括多达八个MM3A-EM微操作器,与我们的X和Y方向行程为30mm的远程子阶段相结合。子阶段可以选择性地配备位置编码器,可产生50nm的重复性。另一个选项是添加一个范围为3 mm...
  • 品牌:kleindiek
  • 型号:MM3A-EM
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产品介绍

MM3A-EM探针站包括多达八个MM3A-EM微操作器,与我们的X和Y方向行程为30mm的远程子阶段相结合。子阶段可以选择性地配备位置编码器,可产生50nm的重复性。另一个选项是添加一个范围为3 mm的Z轴。

整个平台可以在短短几分钟内安装在SEM的载物台上,也可以很容易地将其移除,以使显微镜恢复到以前的状态。

MM3A-EM微操作器配备了低电流、低容量的测量能力,并与探测工具硬件和软件套件完全兼容,包括带电接触测试仪和电子束感应电流成像模块等。

该平台还可以安装温度高达450°C的加热台。其他定制可根据要求提供(e,g,集成LED照明)。

性能特点

  • 紧凑灵活

-易于安装和拆卸,具有高度灵活性

-带模块化组件的即插即用系统

-大多数SEM/FIB仪器的接口解决方案

-快速设置

-大样本的充足空间

-大工作范围(30 mm x 30 mm子阶段行程)

-开创性的布线技术

  • 清晰简单

-直观的控制界面和软件

-用户友好且易于学习

-快速简便的探针头更换

-紧凑、独立的电子设备

-使用多个操纵器轻松工作

  • 坚固稳定

-好的稳定性

-低漂移(1纳米/分钟)

-可靠运行(一年耐久性试验)

-几乎不受振动影响

-手动快速预定位

  • 快速准确

-高操作速度(高达10毫米/秒)

-亚纳米分辨率(0.25纳米)

-无齿隙或反向间隙

-广泛的工作范围

-一个驱动器中的粗排量和细排量

技术参数

  • 总高度:31毫米
  • 总宽度:180毫米
  • max样本尺寸:70 mm-70 mm,max高度10 mm
  • 重量:~1200克

三轴微型操作器

A=左/右B=上/下C=进/出

  • 工作范围:A=240°,B=240°,C=12mm
  • 分辨率A:7 x 10–9 rad(0.5 nm)
  • 分辨率B:7 x 10–9 rad(0.2 nm)
  • 分辨率C:<0.05 nm
  • 低漂移:1纳米/分钟

低容量、低电流测量

  • 噪音:25 fA@1 Hz
  • 绝缘泄漏电流:<50 fA/V
  • 信号导体电阻:<5Ω
  • max电压:100 V
  • max电流:100 mA

变电站

  • 行程X和Y:28.5毫米
  • 速度:highest 2 mm/s
  • 分辨率:<0.5 nm
  • 重复性:50 nm(可选)
  • 角度偏差:<1µrad
  • 负载:500 g
  • 可选Z驱动范围:3毫米
  • Z提升能力:25 g
  • 温度范围:273 K至353 K
  • 特高压版本:273 K至393 K
  • min压力:10-7毫巴
  • 超高压版本:2 x 10-10毫巴
  • 变电站安装:4 x 3.2 mm孔
  • 样品安装:夹子或2 x M3孔

产地:德国

产品应用

  • 纳米抛光
  • 故障分析
  • 低电流晶体管测试

规格参数


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