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产品介绍
UC8系列采用了Wasco的专有制造方法以及Elgiloy隔膜。它提供很高纯度和不匹配的耐腐蚀性。其全焊接结构消除了所有泄漏路径。该系列是处理腐蚀性介质的好的开关，精度高，公差小。
性能特点
我们为下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境设计了UC8系列。UC8系列的额定应用周期超过2，000，000个95B2。UC8系列有满足或超过SEMI F20 UHP要求的材料选择。根据SEMI F1，所有开关都经过氦泄漏测试，达到≤ 1 x 10-9标准立方厘米/秒。
技术参数
产品尺寸
产品应用
煤气箱
IGS气体面板
气体分配系统
阀门歧管箱
蚀刻和沉积系统
津公网安备12010102000946号
