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Nano Vibration Analyzer 是一种集成在技术显微镜中的光纤耦合激光干涉式测振仪。它是测量微结构、MEMS 和悬臂梁的动态行为和静态变形的理想选择。测量对象可以使用 X-Y 表在大范围内定位和扫描，并且可以使用 USB 摄像头进行观察。显微镜镜头是可互换的。激光干涉式测振仪可实现的路径分辨率在亚纳米范围内为 5 pm，从而可以分析高达 5 MHz 的振动频率。专门开发的软件可用于记录和显示测量数据。除了振动的频率分析和测量值的触发记录之外，这还可以控制 X-Y 表和外部频率发生器。更广泛的测量序列可以使用脚本自动化。

高精度、非接触式振动测量和微小物体静态挠度测量

直接测量位移

灵活的样品定位

各种可更换镜头（10x、50x）

用于监控测量对象的 USB 摄像头

应用程序特定配置

用于光谱分析的 FFT 软件

Windows 和 Linux 下 OEM 软件的开放接口

显微镜头也可作为 OEM 模块单独提供