产品介绍
59.0 UHV 全金属可变泄漏阀允许准确控制非常小的气体流量（1·10-10 mbar ls）。 凭借其全金属设计，它非常适合 UHV 和UHV 工艺中的气体计量要求。
59.0 的特殊控制功能保证了可重复的准确气体流量设置，增强了过程控制能力。它还在整个生命周期内提供可靠、无泄漏的关闭，没有任何密封疲劳的风险。
全金属设计——不锈钢阀体和镀金不锈钢薄膜闸门密封——使 59.0 还具有对腐蚀性和腐蚀性气体的高耐受性。
59.0 已经安装在各种工艺条件下的数千种苛刻应用中，证明了其可靠性。它已成为 UHV 和 XHV 应用中可变泄漏阀的标准解决方案。
性能特点
- 用于气流的高精度气体计量
- 准确重现的气体流量设置
- 可靠的终生防漏密封
- 耐腐蚀性和腐蚀性气体
- 气体流量下的压力控制
- 增强的过程可控性
- 正常运行时间长
技术参数
津公网安备12010102000946号
