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ATV3000 排气压力控制器用于控制真空室中的压力。它还被制造用于控制大范围的压力。 由于控制器和阀门是一体制造的，因此无需使用额外的控制器，因此可以降低成本。 

• ATV3000智能排气节流阀采用微步进电机和直接齿轮驱动器，提高阀门的分辨率。
• ATV3000 智能排气节流阀采用高扭矩电机，因此即使在大型腔室中也可以安装真空管路（例如 12 英寸）。
• ATV3000 智能排气节流阀体即使在加热到 150˚C 后也可以使用。（不包括密封型）
• ATV3000智能排气节流阀以FND显示挡板位置，方便用户从外部查看阀门是否工作。 它的设计使其可以在不与设备分离的情况下进行检查。
• ATV3000智能型排气节流阀，可根据客户要求在订货时设置法兰形式。
• ATV3000 智能排气节流阀只能在外部提供直流电源（+24VDC）时使用。

• 速度（开到关）：1.5秒
• 驱动方式：直接齿轮传动
• 阀门电机环境工作温度：-20 到 +40