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ONTO光刻系统JetStep G35

JetStep G35 系统专为灵动性而设计,利用一系列高性能投影镜头为平板显示器制造商实现高分辨率成像。Jetstep G35 系统是一款大批量制造成像系统,适用于高达 3.5 代的显示器。JetS...
  • 品牌:ONTO
  • 型号:JetStep G35
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产品介绍

JetStep G35 系统专为灵动性而设计,利用一系列高性能投影镜头为平板显示器制造商实现高分辨率成像。Jetstep G35 系统是一款大批量制造成像系统,适用于高达 3.5 代的显示器。JetStep G35 系统可实现低至 1.5µm 的高分辨率成像,并结合先进的高分辨率显示器制造所需的配准和拼接精度。适用于高达Gen 3.5尺寸的平板显示器应用的高分辨率成像。

性能特点

  • 自动放大控制增加了工艺窗口
  • 板载标线管理系统提供大利用率
  • 用于现场校准的机载计量包
  • 在每个曝光位置进行动态自动对焦,以自动调整面板拓扑上的焦点
  • 提供系统性能和故障排除反馈的板载诊断

技术参数

  • 行业标准的 6 英寸光罩格式,用于经济的制造
  • 低至 1.5µm 的高分辨率成像

规格参数


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