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10 级洁净室等级是通过密封结构和高耐用性不锈钢条盖实现的。 执行器主体经过化学镀层以防腐蚀。执行器具有真空吸口，可排出运动部件产生的任何颗粒。

洁净室等级是通过密封结构和高耐用性不锈钢条盖实现的。执行器主体经过化学镀层以防腐蚀。执行器具有真空吸口，可排出运动部件产生的任何颗粒。这些线性执行器符合 209E 洁净室分类和 10 级 VDI 2083-8 标准。

行程：50 – 600 mm

滚珠丝杠导程：5、10 mm

电机安装尺寸：Nema17, Nema23

电机类型：步进器

伺服/编码器 4000ppr

重复性：± 5 micron

准确性：20 / 300 micron/mm

负载：50 kg

速度：100 mm/sec（步进）

200 mm/sec（伺服）