Entegris是一家专注于半导体材料和电子材料领域的全球领先公司,其产品广泛应用于半导体、光伏、LED以及生命科学等领域。Entegris的气体纯化器作为其核心产品之一,具有高纯度控制、微污染控制和成本效益等优势。
高纯度纯化能力:可将气体或液体中的杂质降低到极低水平,满足对纯度要求极高的应用场景。
可靠性高:采用先进的技术和高质量的材料制造,经过严格的质量检测,如氦气检漏、压力测试和分析测试等,确保产品在长期使用过程中稳定运行。
低压力降:在纯化过程中,对流体的压力损失较小,有助于维持系统的正常运行,降低能耗。
长使用寿命:其设计和材料选择使得纯化器具有较长的使用寿命,减少了更换和维护的频率,降低了使用成本。
GateKeeper系列:适用于半导体和晶圆制程,具有高纯度控制和微污染控制功能。
Aeronex系列:高流量超纯透析制程用气体纯化系统,适用于氢气、氩气和氮气等载气。
Purasol溶剂纯化器:用于去除溶剂中的金属微污染物,适用于光刻化学制造。
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