半导体生产中的照明系统和镇流器

在半导体生产中，照明和电源对生产过程的质量和效率起着至关重要的作用。

半导体生产应用

您是否在高精度条件下为电气工程制造半导体，并需要强大的 248 nm 或 365 nm 紫外光源来表征晶圆或掩模版，或需要可靠的电源来支持您的气体放电灯、分析系统或图像处理解决方案？

除了经典的 248 nm 氙气汞混合气体“深紫外系统”外，我们的产品组合还包括适用于 50 瓦及以上汞、氙和氙气汞气体放电灯的镇流器。除了经典的短弧灯光源和镇流器外，我们还提供各种紫外-可见光 LED 光源。这些光源可以通过准直光学元件或光导直接耦合到您的系统中。

我们的紧凑型镇流器可为您的半导体生产应用提供高度稳定可靠的电源。它们为光源提供最佳供电，并实现非常恒定的无闪烁光通量。

半导体制造产品