PRECIZIKA L18系列线性编码器
应用简介
L18系列线性编码器核心的应用是在半导体行业-离子注入机上，是离子注入机实现纳米级定位、均匀注入与高产能的核心反馈部件，主要用于多轴运动闭环控制、束线与终端站精密调节，以及晶圆搬运与对准系统，直接决定注入剂量 / 深度的一致性与良率。
核心应用位置与功能
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应用子系统 |
编码器作用 |
关键价值 |
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晶圆扫描台（X/Y/θ/Z） |
实时位移 / 速度反馈，实现高速扫描与纳米级定位；θ 轴配合直线轴完成全域均匀注入 |
保证注入剂量均匀性（<1%），支持 200+ mm/s 扫描速度与短稳定时间 |
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束线聚焦/偏转/狭缝 |
离子光学元件（如磁透镜、偏转板、可变狭缝）的精密位置调节，控制束斑尺寸与轨迹 |
实现亚 10 nm 束斑聚焦，提高注入精度与工艺窗口 |
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终端站晶圆对准/搬运 |
预对准台、机械臂末端执行器、真空卡盘的位置反馈，确保晶圆中心与缺口对准，无接触传输 |
减少碎片率，提升设备利用率（OEE） |
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能量 / 剂量控制系统 |
与束流监测器联动，通过运动速度补偿束流波动，实现剂量闭环控制 |
剂量控制精度达 ±0.5%，满足先进工艺节点要求 |
技术类型与环境适配
光学式直线编码器（主流）
原理：光栅尺 + 光电扫描头，无接触测量，抗干扰强
典型型号：PRECIZIKA L18系列
适用场景：扫描台、束线调节等核心高精度轴
环境要求：洁净室（Class 1–10），密封设计防颗粒与真空环境影响
磁性 / 感应式编码器（辅助）
原理：磁栅 / 感应标尺 + 磁头，抗污染能力强
适用场景：晶圆搬运机械臂、预对准台等对洁净度要求高但精度稍低的轴
环境优势：IP67 防护，耐油、耐尘，维护成本低
工作流程与闭环控制
注入准备：晶圆由机械臂搬运至预对准台，编码器反馈位置，完成中心与缺口对准后，传送至真空扫描台
束线调节：根据工艺参数（能量、剂量、离子种类），编码器控制束线元件位置，聚焦离子束至目标束斑尺寸
高速扫描注入：扫描台在 X/Y 轴以 200+ mm/s 速度扫描，编码器实时反馈位置与速度，与束流监测器数据联动，通过运动控制器调节扫描速度，补偿束流波动，实现剂量均匀注入
完成与卸载：注入结束后，扫描台复位，机械臂将晶圆移出，编码器确保整个过程无碰撞、高精度传输
津公网安备12010102000946号
